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奧坤鑫 OKSUN】等離子清洗機(jī)也叫等離子表面處理儀,是一種全新的高科技技術(shù),利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。
對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的活性組分包括:離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素、光子等。
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真空等離子設(shè)備】等離子清洗機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,從而實(shí)現(xiàn)清潔等目的。 下面一起來看看等離子清洗機(jī)的相關(guān)知識(shí)介紹。
等離子清洗機(jī)產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電場,用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體愈來愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離也愈來愈長,受電場作用,它們發(fā)生碰撞而形成等離子體。
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等離子表面清洗】這些等離子體的活性很高,其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵,在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng),不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能,如氧氣的等離子體具有很高的氧化性,能氧化光刻膠反應(yīng)生成氣體,從而達(dá)到清洗的效果;腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性,這樣就能滿足刻蝕的需要。利用等離子處理時(shí)會(huì)發(fā)出輝光,故稱之為輝光放電處理。
由于等離子清洗機(jī)所釋放出的這種等離子體屬于氣態(tài)的性質(zhì),所以對(duì)物體表面的粗糙程度、彎曲、空隙等各種形狀都能起到很到的清洗作用且不會(huì)損害被處理面。
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