【真空等離子設(shè)備】熱等離子體與工件相互作用的方式有幾種。
其中的一種加工方式所用的是比較老式的等離子體爐，上面產(chǎn)生的等離子體弧直接作用在下面的工件上，使它熔化，進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)。
另外的加工方式中氣體（Ar或H2等）由噴嘴射出，在二電極間產(chǎn)生高溫等離子體。中部輸入的固體原料在高溫等離子體內(nèi)熔化，沿落管形成液體膜，并進(jìn)行反應(yīng)，產(chǎn)品最后流入下面的容器內(nèi)。【等離子Plasma】
用此法還原氧化鐵為鐵的反應(yīng)器，其功率約100千瓦,最大能到 1兆瓦。
擴(kuò)展的加工等離子體，等離子體炬按圓環(huán)旋轉(zhuǎn)，等離子體向下運動時形成錐形,固體原料由上部輸入,在等離子體中螺旋運動時進(jìn)行反應(yīng)。
等離子體的旋轉(zhuǎn)可以用機(jī)械的或電磁的方法實現(xiàn)。后者的等離子體軌道速度可達(dá)2000～9000轉(zhuǎn)/分，已在使用的功率約為100千瓦。【等離子表面刻蝕】
