在線式真空等離子清洗機的工作原理主要基于等離子體的物理特性。在真空環(huán)境下,通過引入特定的氣體,如氬氣、氧氣或氫氣等,并施加高電壓,使得氣體發(fā)生電離,形成等離子體。等離子體中的活性粒子與材料表面發(fā)生化學反應(yīng),從而實現(xiàn)對材料表面的清洗、刻蝕、鍍膜等功能。
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