在玻璃鏡片的等離子處理中，常用的氣體主要包括氧氣、氮氣、氬氣以及它們的混合氣體。這些氣體在等離子狀態(tài)下具有不同的活性和化學(xué)性質(zhì)，能夠?qū)︾R片表面產(chǎn)生不同的影響。
氧氣是等離子處理中最常用的氣體之一。在等離子狀態(tài)下，氧氣分子被激發(fā)成氧離子和自由基，具有很強的氧化性。這些活性粒子能夠與鏡片表面的污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，將其氧化成易于去除的物質(zhì)，從而實現(xiàn)表面的深度清潔。同時，氧等離子處理還能夠引入羥基等親水性基團(tuán)，提高鏡片的潤濕性和親水性，有助于減少水霧在鏡片表面的凝結(jié)，提高鏡片的清晰度。
氮氣在等離子處理中同樣扮演著重要角色。氮氣分子在等離子狀態(tài)下被激發(fā)成氮離子和自由基，具有一定的化學(xué)活性。氮等離子處理能夠在鏡片表面形成一層氮化物薄膜，這層薄膜不僅具有優(yōu)良的耐磨性和耐腐蝕性，還能夠提高鏡片的硬度和抗劃傷能力。此外，氮等離子處理還能夠改變鏡片表面的微觀形貌，增加其粗糙度，有助于提高鏡片與其他材料的粘接性能。
氬氣作為一種惰性氣體，在等離子處理中主要起到物理轟擊的作用。氬離子在電場作用下具有較高的動能，能夠有效地去除鏡片表面的微小顆粒和污染物。同時，氬等離子處理還能夠?qū)︾R片表面進(jìn)行微觀層面的改性，改變其表面的化學(xué)組成和物理結(jié)構(gòu)，從而提高鏡片的表面能和潤濕性。
除了單一氣體外，混合氣體的使用也是玻璃鏡片等離子處理中的一種常見做法。例如，氧氣和氬氣的混合氣體可以在清潔鏡片表面的同時，引入親水性基團(tuán)并提高鏡片的潤濕性；氮氣和氬氣的混合氣體則可以在提高鏡片硬度和耐磨性的同時，保持其良好的透光性和光學(xué)性能。
